应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
FFU特点: 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320,噪声52~56分贝;2.FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便; 3.风机采用德国emb直驱式离心风机或者国产铝叶轮离心风机,工作时间长达5万小时以上; 4.并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性; 5.FFU采用独特的风道风速均匀,整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。 6.壳体可选用镜面不锈钢、覆铝锌板、冷板静电喷塑制做美观大方; FFU出厂前均按美国联邦标准(209E)用激光粒子计数器逐台扫描检测,确保质量;FFU适用于10~1000级无尘车间,便于整体运行集中控制; FFU适用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂家及光学、生物工业及其它对空气中污染有严格控制要求的地方。以独特的优势合理的价格迅速占领市场。 高度低,系统设计时可节省气室空间。轻量化结构设计,可符合各厂家的 Grid 系统安装,更可依 Grid 系统,变更 FFU 结构尺寸设计。内部装置扩散板.风压扩散均匀,出风面风速平均稳定。金属结构顺风道内胆,永不老化.杜绝二次污染产生,表面光滑,风阻低.隔音效果优良。特殊入风口,风道设计,降低压损与噪音的产生。马达效率高,系统消耗电流低,节省能源成本。单相马达,提供三段式调速,可依实际状况调高或降低风速与风量。 1. 风机采用进口高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5万小时或以上。 2. 特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。 3. 壳体结构选用不锈钢、铝合金、覆铝锌板、冷轧钢板材料制造,重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。 4. 产品出厂前均按美国联邦标准209E,METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量。 温州升旭净化工程有限公司专业承接空气净化工程、手术室净化、GMP车间净化、实验室净化、无菌室净化、食品车间净化、层流手术室净化、厂房净化、药品车间等服务。
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2018-06-14 13:30:24 来源: 评论:0 点击:
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