洁净棚同时可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。洁净棚是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备。洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成,外壳喷塑。该产品既可悬挂,又可地面支撑,结构紧凑,使用方便。可以单个使用,也可多个连接组成带状洁净区域。
1.框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架稳固、美观、不生锈、不产尘;
2.防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或亚克力板),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3.风机滤网机组:,采用新加坡PCI离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级变速等特性,风机质量可靠,工作寿命长,加上独特的风道设计,大大提高了风机的效率、降低了噪声!内部净化级别可达100-100K级;特别适用于内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业区域。
4.内部采用净化室专用净化灯,不产尘;
无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。