1、发尘量
无尘室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般极小,可忽略;由于金属半壁的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占10%以下,发尘主要来自人,占90%左右。在人的发尘量上,由于和样式的改进,发尘绝对量也不断减少。
A、材质:棉质发尘量最大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式:大挂式发尘量最大,上下分装型次之,全罩型最少;
C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍;
D、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、量
工作人员产生的污染
1)皮肤:人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换,人类每分钟脱落约1000片皮肤(平均大小为30*60*3微米)
2)头发:人类的头发(直径约为50~100微米)一直在脱落。
3)口水:包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
4)日常衣物:微粒、纤维、纤维素、各种化学品和细菌。
5)人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。
6)人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。
7)人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。
分析国外试验资料可以认为
⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时:
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
⑷ 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
⑸ 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
⑹ 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以,可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人,动态发菌量一般不超过1000个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。
编辑本段
无尘室有五个特性 :
(l)耐久性;⑵成本; ⑶适应性; 清洗。
⑴ 耐久性:
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、空气过滤系统的耐久材料。同时也依赖无尘室等级来建造。半导体倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
⑵ 清洗:
在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止或细菌的污染之特性。在 biotech 市场,清洗真正地是一个最重要的企业。
⑶ 成本:
微电子 C/R 建设费可能花费到亿。fab 能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 "钱" 将成为一个很重要的考虑因素。
⑷ 适应性:
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极大的损失。C/R 的拥有者和设计者的能力为改变一 C/R的关键,所以他们从不将最初的设计定型。
⑸ 维护性:
对无尘室 C/R 而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及都应有其。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说 :若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须精确。
许多了解无尘室的人都赞同,第一次拥有无尘室的拥有者,应使用较好之C/R 建筑或工程或了解建筑 C/R 设计之若假设他们不了解, 则必会浪费一大笔不必要花的钱,故选择一建造C/R 的公司也是非常重要的。
对 C/R 而言,其选择地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆盖着一层在薄板上,若太硬的地板覆盖会引起尘埃,而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂,但并不是所有 C/R 的地板,都会覆盖基。有些地板是冲孔式、格子式,而全面层流都是式。
乙烯基有一作用即脱氧,但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果,而无尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵,但铝却可以保护墙面不被空气所氧化,可是却易受的侵蚀,而避免的方法是使用电镀,便铝表面增厚,不易氧化,再在铝表面上再涂上一层即可防止金属氧化。
对于半导体工业而言,无尘室是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破裂了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式 C/R 而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的天花板优点为,放置方式并没有严格的限制。
C/R 之墙壁还有一种是以制成,但必须在表层涂上一层,否则亦会腐蚀,它并不容易,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很容易剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的 C/R 会使得房间的光线大增,以及美观,但必须涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭。